MED insight: Wie funktioniert EUV-Lithographie?

Miniaturisierung ist ein großes Thema in der heutigen Industrie & Fertigung. Es gilt, immer kleinere Chips und Oberflächen zu bedrucken um möglichst leistungsfähige Geräte wie Schlüsseltechnologien wie KI oder 5G zu ermöglichen. Der Deutsche Zukunftspreis 2020 kürte am 25. November unter dem Schirmherrn und Bundespräsidenten Frank Walter Steinmeier die EUV-Lithographie zum Sieger. Das Gewinner-Team habe dabei einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie geleistet.